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○微小領域の超伝導特性制御が可能なジョセフソン素子および同素子の製造方法

整理番号 1105 特許状況 特許公開
概要 微細加工が容易で制御性の極めて高いジョセフソン素子の構造およびその製造方法を提供します。従来から、水素アニール法により超伝導を抑制することで、ジョセフソン素子を形成する技術がありますが、微細加工性に不向きであると同時に、制御性が低い問題がありました。
本技術は、制御性が低い金属を成膜し、Bi-2212等の高温超伝導体両面にAl等の易酸化電極とPt等の難酸化電極を堆積、 アニールすることで易酸化電極が超伝導体から酸素を奪って酸化するため、超伝導性を抑制する或いは壊すことができます。
本技術によれば、微小領域の超伝導特性制御が可能であるとともに、必要な操作が電極形式と加熱のみであるため、大容量、高密度化が容易となり、また、任意の形状に金属を堆積させることで、エッチングを要することなく超伝導回路を組むことができます。
キーワード:ジョセフソン素子、超伝導特性制御、微細加工容易、Bi-2212
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 電機・電子・光学





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