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○半導体チップや精密部品の搬送、無菌室等での試料の非接触、隔離状態での搬送装置として有用な超電導磁気浮上による非接触搬送装置技術

整理番号 1871 特許状況 特許取得
概要 半導体チップや精密部品の搬送、無菌室等での試料の非接触、隔離状態での搬送装置として有用な超電導磁気浮上による非接触搬送装置技術を提供します。気密室(特殊ガス雰囲気チャンバー、真空チャンバー)や隔離室等での半導体チップや精密部品の搬送、無菌室等での試料の非接触(又は隔離状態)での搬送装置としては、超電導による磁気浮上搬送装置が好適です。
本技術は、超電導磁気浮上によって非接触で搬送している搬送物(具体的には搬送台)又は超電導体に外乱があっても、短時間のうちにその振動が収まり、安定して搬送物を搬送可能なものです。
本装置は、
①複数の永久磁石が底部に設けられ、搬送対象物を運ぶ搬送台
②搬送台の各永久磁石の直下に配置される超電導体を備えた搬送案内手段
③搬送案内手段に設けられて、搬送台と搬送案内手段との距離を検知する距離センサ
④搬送案内手段に設けられて、通電によって搬送台を制振するための磁界を発生させる制振コイル
⑤距離センサの信号によって搬送台の変位を検知し、制振コイルに流す電流を制御する制御部、等から構成されています。
キーワード:半導体チップや精密部品の搬送、無菌室等での試料の非接触、隔離状態での搬送、超電導磁気浮上による非接触搬送装置
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 電機・電子・光学、機械・プラント・生産ライン





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