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ナノサイズの凹凸構造が形成された主基板と蓋基板とを、構造を損なうことなく接合する方法、並びにこれを利用したマイクロ流体デバイスの製造方法

整理番号 1720 特許状況 特許公開
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分野 ナノテク関連(ナノカーボンほか)、その他





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