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ナノメートルオーダの精密度が要求される超精密の鉛直方向位置決め装置に対応し得る重力補償機構、及び斯かる補償機構を用いる鉛直方向位置決め装置

整理番号 1698 特許状況 特許取得
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分野 機械・プラント・生産ライン、センサ・計測・検査





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