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○高輝度で解像度が高く、装置の小型化が可能な高輝度小型電界放出型電子銃

整理番号 1020 特許状況 特許公開
概要 高輝度で解像度が高く、且つ装置の小型化が可能な電界放出型電子銃、及びその電源電圧制御技術を提供します。電子エミッターから放出される電子流は、所定の方向から外れている成分も多く、電子流密度の低下が避けられませんでしたが、本技術はそれを解決したものです。 主な特徴は、
①電子エミッターから放出される電子流を所定方向に集束させ、高い電子流密度を得て輝度を高くする、
②精細にフォーカスさせ(クロスオーバーが小さい)装置を小型化できる、などです。
本技術の内容は、電界放出型電子銃において、
①電子エミッターから電子線を引出し、加速および集束させるためのバトラー型レンズの第1電極を複数分割し、且つ分割界面が電気的に絶縁されていること、
②電子エミッターが、カーボンナノチューブ、カーボンホイスカ、又はカーボンファイバー炭素材料で構成されていることなどです。 電子顕微鏡、X線装置、オージェ電子分光器等の小型分析装置および電子線描画装置等の用途分野で有用と考えます。
キーワード:電界放出型電子銃、電子エミッター、バトラー型レンズ、カーボンナノチューブ
注)電界放出型電子銃:冷陰極タイプと熱電界タイプがあり、超高真空下で細く尖らせた陰極(エミッタ)の先端に強い電界(高い電圧)をかけて電子を放出させる電子銃です。
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 医療デバイス・医療機器、電機・電子・光学、センサ・計測・検査、ナノテク関連(ナノカーボンほか)





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