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材料の加工や測定等において高い空間分解能を実現でき、微小なマイクロプラズマを生成する装置及び方法

整理番号 1594 特許状況 特許取得
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分野 電機・電子・光学、機械・プラント・生産ライン、無機材料(セラミクス・金属ほか)





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