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○微小力の3次元動的非接触測定装置

整理番号 1388 特許状況 特許公開
概要 高精度微小力測定装置、原子間力顕微鏡、超精密組立等に広く利用できる微小力の高精度測定装置を提供します。
微小な力を検出するには、試料と探針の原子間に働く力を検出し、それを基に試料の表面形状の画像を得る原子間力顕微鏡が一般的に用いられていますが、その技術では、探針に作用する微小力で試料と探針の間隔が変化するため、
1)感度の高い測定が困難である、
2)動的な計測ができない、
3)3次元力の計測ができない、等の問題があります。
新装置は、従来の問題点を克服するもので、作用力による作用点の変位を伴わずに高感度な力測定を実現しました。
本技術によれば、作用点に力を受けても作用点の位置が変化しないため、測定対象物との間隔を一定に保つことで、高精度の動的な計測が可能で、また、作用する力の3分力を測定でき、この3分力から3次元空間での力の方向及び大きさを求めることも可能です。
キーワード:微小力測定、高精度、原子間力顕微鏡、3次元力の計測、作用点無変位
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 センサ・計測・検査





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