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○高真空の計測が可能なマイクロ真空計

整理番号 1349 特許状況 特許取得
概要 真空封止が必要な電子デバイス等の信頼性評価、自己診断に適用でき、真空容器内の圧力を計測できるマイクロ真空計を提供します。
MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems)技術を利用した熱型赤外線センサは、真空封止されたパッケージに実装することにより性能が飛躍的に向上し、「安全・安心・省エネ」を実現するキー・デバイスとして期待されています。 熱型赤外線センサの開発では、パッケージ内の僅かな真空度の劣化を検出することが重要ですが、従来の熱伝導方式のマイクロ真空計は、十分に低い圧力、特に、真空封止されたパッケージ内の圧力変化を計測できませんでした。
本技術は、放射率が低く赤外線透過率が高い材料を用いるために、浮遊構造体からの熱輻射による熱損失が小さくなり、マイクロ真空計で計測可能な圧力範囲を低圧側に拡大することを可能としました。MEMSデバイス等の信頼性試験や自己診断に適用でき、更に、微小領域圧力計測にも広がると考えます。
キーワード:真空封止パッケージ、マイクロ真空計、信頼性評価、自己診断、熱型赤外線センサ、MEMSデバイス
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 電機・電子・光学、センサ・計測・検査





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