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○磁性薄膜の簡易且つ安価な製造方法

整理番号 1273 特許状況 特許取得
概要 情報を極めて高密度に記録することを可能にする磁性薄膜を、簡易、且つ安価に製造する技術を提供します。情報を高速且つ高い信頼性で記録し活用されているものとして、磁気記録再生技術を使用した磁気ディスク装置が広く利用されていますが、従来の磁気記録媒体の製造方法は製造工程が複雑な問題がありました。
本技術は、FexPt1-xからなる磁性微小粒子が非磁性マトリックス中にドットアレイ状に形成された磁性薄膜の形成方法で、これによれば、磁性薄膜に極めて微細構造の磁性粒子をドットアレイ状に形成することができ、極めて高密度の情報を記録することが可能となります。また、スパッタリング法によって磁性薄膜を形成できますので、磁性薄膜を容易且つ安価に形成でき、磁気記録媒体等の実用的な製造技術酢として好適です。
キーワード:磁性薄膜、磁気記録媒体、FexPt1-x、高密度情報記録、スパッタリング法
注)スパッタリング:真空中に不活性ガス(主にArガス)を導入しながら基板とターゲット(成膜させる物質Cr・Ti等)間に直流高電圧を印加し、イオン化したArをターゲットに衝突させて、はじき飛ばされたターゲット物質を基板に成膜させる方法です。
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 電機・電子・光学





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