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○ナノサイズの微細構造を有する金型の製造方法

整理番号 1187 特許状況 特許公開
概要 ナノサイズの微細構造を有する金型、及びその金型を容易に製造する方法を提供します。従来の金型作製方法は、サブミクロンレベルの微細構造に対応するものです。更に高密度化、高機能化のためには、より微細なナノサイズの微細構造、3次元構造の形状とするため、微細パターンを形成することが必要とされ、従来の方法ではホールへのめっきの埋め込みができなくなり、また、3次元構造では通電層をスパッタ法で形成した場合にカバレッジ不足により通電層の形成が困難です。
本技術による金型製造方法は、シランカップリング剤で構成された自己組織化膜をナノサイズのパターンを有する無機薄膜上に形成することにより、パターン上に通電層を均一に形成することを可能とします。したがって、通電層を電極として電解めっきによりナノサイズのパターンにめっきをより確実に埋め込むことができますので、ナノサイズの微細構造を有する金型を容易に製造することができます。
キーワード:金型、ナノサイズ、微細構造、シランカップリング剤、通電層
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 電機・電子・光学、ナノテク関連(ナノカーボンほか)





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