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○電解質溶液中で動作する電界効果トランジスタ

整理番号 1185 特許状況 特許公開
概要 製造コスト低減と品質の均一化が可能な電界効果トランジスタ、その製造法、及びバイオセンサ技術を提供します。従来の電界効果トランジスタは、ソース電極及びドレイン電極が電解質溶液中に直接暴露することを防止するため、これらを絶縁性エポキシ樹脂で覆う製造工程が必要なため、製造コストが高く、品質の均一化が図れない問題がありました。
本技術は、ダイヤモンド基板にチタン膜を形成し、チタン膜から所定形状からなるソース電極及びドレイン電極を形成する電極形成ステップを備えています。
本電極形成ステップでは、ソース電極及びドレイン電極を形成すれば、その表面に自然に酸化チタン膜が形成されることから、従来行われてきたソース電極及びドレイン電極を絶縁性エポキシ樹脂で別途覆う被膜作業が不要となり、製造工程の負担を低減できます。また、ソース電極及びドレイン電極に皮膜される酸化チタン膜が空気中で自然酸化して形成されることから、酸化チタン膜の膜厚を非常に薄く均一に形成でき、デバイス毎の特性の差異を低減できます。
特に、参照電極と電界効果トランジスタとを電解質溶液に浸漬させた構成のバイオセンサに好適です。
キーワード:電界効果トランジスタ、電解質溶液、ソース電極、ドレイン電極、酸化チタン膜
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 電機・電子・光学、センサ・計測・検査





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