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○極短時間幅の電子ビームを生成できる光陰極高周波電子銃

整理番号 1183 特許状況 特許公開
概要 電子ビームの時間幅を容易に変更することができる光陰極高周波電子銃、及び光陰極高周波電子銃を備えた電子線装置を提供します。光陰極高周波電子銃は、電子生成時の電子ビームの時間幅をレーザーによって制御できるため、短パルス・高電荷・高品質、つまり高輝度な電子ビームを生成可能な装置として広く用いられ、特に、1ps(rms)を切るような時間幅の電子ビームを生成することで非常に有用です。しかし、従来の電子銃は、電子が十分に加速されるまでの空間電荷効果によって、生成された電子ビームの時間幅は、3ps(rms)程度となってしまうという問題がありました。
本技術は、現行の光陰極型高周波電子銃の構造に新たに電子ビーム幅を圧縮するための空洞を設け、加速位相を変調させることが出来るようにしたものです。
本発明によれば、最終アイリスの厚さを変更することにより、電子ビームの時間幅を圧縮できるバンチング効果があり、超短パルスの電子ビームが生成できます。
キーワード:光陰極高周波電子銃、電子ビーム、時間幅、電子線装置、バンチング効果、超短パルス
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 電機・電子・光学





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