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○硬度が著しく異なる複合材料を、作業者の熟練度によることなく、迅速かつ平滑に研磨することを可能にする研磨ラッピングフィルム技術

整理番号 2650 特許状況 特許出願
概要 硬度が著しく異なる複合材料を、作業者の熟練度によることなく、迅速かつ平滑に研磨することを可能にする研磨ラッピングフィルム技術を提供します。
これまでの種々の研磨技術においては、
①研摩試料でのダレ防止、
②硬度差による領域ごとの研磨不均等防止、
③研磨試料の貼りつき防止、
④研磨試料面での傷発生防止、
⑤研磨フィルムの破損防止、
⑥研摩試料の大きさによる対応可能性の実現、
⑦作業者の熟練度に左右されない研磨製品の製造、等の課題があります。
本技術は、これらの課題に対応するもので、研磨試料面に対して平面性の高い研磨をするための柔軟な研磨フィルムを用いた仕上げ研磨用定盤において、研磨フィルムを搭載する平面形状の板体の定盤の研磨面に複数の島状凸部とそれらの間に連続した溝状となる凹部とを設けたものです。
本技術によれば、上記①~⑦の課題を解決し、研磨試料のダレ発生の防止、研磨試料の研磨面に有する硬度差による領域ごとの研磨不均等の発生防止、研磨試料の研磨フィルムへの貼りつき発生を防止するなど、作業者の熟練度によることなく、試料観察面を容易に鏡面仕上げすることが可能です。研磨製品を製造できます。
キーワード:研磨機械研磨ラッピングフィルム、仕上げ研磨用定盤
目的 共同研究、ライセンス契約を希望します。
分野 機械・プラント・生産ライン
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